靜電是最難控制的因素之一， 靜電可以使半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品增多、降低電子設(shè)備的可靠性。實(shí)踐證明，在半導(dǎo)體器件的制造和測(cè)試過(guò)程中、在運(yùn)輸和儲(chǔ)存中、在設(shè)備的安裝和調(diào)試以及使用過(guò)程中，半導(dǎo)體器件都可能受到靜電的作用。因此，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中，實(shí)際上所有的制造階段都需要防止靜電對(duì)器件的作用。
消除靜電的方法很多，對(duì)有防靜電環(huán)境要求的潔凈室工程，常用以下幾種方法:
1.選用合適的材料：
采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄漏的材料，多種材料共同使用時(shí)，應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料。所有的材料可歸入電的導(dǎo)體或電的絕緣體。導(dǎo)體是電流能通過(guò)的材料，絕緣體是電流不能通過(guò)的材料。
2.接地：
接地是帶電導(dǎo)體消除靜電最為普遍、經(jīng)濟(jì)、簡(jiǎn)便、可靠的方法。
(1) 潔凈室內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危害的設(shè)備、流動(dòng)液體、氣體或粉體管道應(yīng)采取防靜電接地措施。
(2) 電子工業(yè)潔凈室的圍護(hù)結(jié)構(gòu)(吊頂、地面、墻、柱)應(yīng)采用防靜電裝飾，可以抑制塵埃的帶電吸附。
(3) 工藝設(shè)備接地。
(4)辦公設(shè)備應(yīng)采用能防靜電的材料制成并接地。
(5)工作人員應(yīng)穿戴防靜電的無(wú)塵衣、鞋、帽、手套、腕帶等。
3.中和：
將帶電體(靜電)周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場(chǎng)作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達(dá)到中和而消除靜電。
靜電消除器是一種能產(chǎn)生電 子和離子的裝置，它產(chǎn)生的電子、離子與帶電體上的異性電荷中和，從而消除靜電。絕緣材料表面所帶的靜電荷、空氣中的靜電荷必須用靜電中和的辦法來(lái)消除。
4.濕度控制：
在眾多消除靜電的方法中，室內(nèi)濕度控制也被認(rèn)為可以用來(lái)減少和消除潔凈室靜電。通過(guò)在環(huán)境中保持高的相對(duì)濕度，在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來(lái)提供導(dǎo)電的通道，使得可能產(chǎn)生的電荷流過(guò)該濕氣層耗散靜電荷。另外，薄薄的濕氣層可以增加物體表面的潤(rùn)滑性，摩擦生電也將減少。一般來(lái)說(shuō)，濕度越低，產(chǎn)生的電荷越多。但是資料表明，甚至在濕度高時(shí)也會(huì)產(chǎn)生顯著的靜電電壓，但是，在高濕度環(huán)境中，生產(chǎn)人員可能會(huì)感覺十分不舒服，零部件可能生銹，并產(chǎn)生可焊性問題。同時(shí)，企圖用濕度控制來(lái)消除靜電的方法顯然是高耗費(fèi)的，尤其在干燥地區(qū)更是如此。
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